| 摘要 |
Способ определения энергетического спектра электронов в электронном пучке, в процессе которого бомбардируют электронами участок поверхности твердого тела, выделяют тормозное рентгеновское излучение с упомянутого участка и измеряют его характеристики, отличающийся тем, что в любой последовательности измеряют энергетический спектр тормозного рентгеновского излучения исследуемого электронного пучка и спектры тормозного рентгеновского излучения моноэнергетических пучков, создаваемых в той же системе формирования в условиях пренебрежимо малого разброса по энергии электронов в пучках, измеряют энергетические спектры тормозного рентгеновского излучения для моноэнергетических электронных пучков при n дискретных значениях энергии электронов в этих пучках, на основе данных об энергетических спектрах тормозного рентгеновского излучения для моноэнергетических электронных пучков рассчитывают функцию ядра обратного интегрального преобразования и определяют энергетическое распределение электронов в исследуемом пучке путем выполнения операции обратного интегрального преобразования с полученным ядром к функции, описывающей спектр рентгеновского излучения исследуемого электронного пучка, причем величину n выбирают удовлетворяющей соотношению n≥n, где n- минимальное значение n, при котором погрешность в определении функции ядра обратного интегрального преобразования не превышает заданного значения. |
