MEMS-Vorrichtung mit Polymerschicht, System einer MEMS-Vorrichtung mit einer Polymerschicht, Verfahren zum Herstellen einer MEMS-Vorrichtung mit einer Polymerschicht

摘要

Es werden eine MEMS-Vorrichtung, ein Verfahren zum Herstellen einer MEMS-Vorrichtung und ein System einer MEMS-Vorrichtung dargestellt. In einer Ausführungsform enthält eine MEMS-Vorrichtung eine erste Polymerschicht, ein auf der ersten Polymerschicht angeordnetes MEMS-Substrat und eine von dem MEMS-Substrat getragene MEMS-Struktur. Die MEMS-Vorrichtung enthält weiterhin eine in dem MEMS-Substrat angeordnete erste Öffnung und eine in der ersten Polymerschicht angeordnete zweite Öffnung.