一种TFT阵列基板及其制备方法和显示装置

摘要

本发明公开了一种TFT阵列基板及其制备方法和显示装置，包括：在基板之上形成数据线和阻挡层，在阻挡层之上形成介质层，利用一道光罩刻蚀介质层和阻挡层而形成阻挡层图形，在介质层之上形成像素电极，数据线和像素电极至少部分重叠。本发明通过仅利用一道光罩就完成了对阻挡层和介质层的刻蚀（图案化），可以达到以下至少一个效果：节省一道光罩工艺，简化工艺流程，提高基板制备良率，减少寄生电容的干扰，增大开口率和降低功耗。

主权项

一种TFT阵列基板的制备方法，其特征在于，包括：在基板之上形成阻挡层；在基板和阻挡层之上形成数据线；在阻挡层和数据线之上形成介质层，利用一道光罩刻蚀介质层和阻挡层，形成阻挡层图形；在介质层之上形成像素电极，所述介质层位于所述像素电极和所述数据线之间。