异常检测系统以及异常检测方法

摘要

本发明提供一种高精度地对装置中产生的异常进行检测的异常检测系统。对等离子体处理装置(2)所产生的异常进行检测的异常检测系统(100)具备：多个超声波传感器(41)，其检测由异常的产生所引起的AE；分配器(65)，其将超声波传感器(41)的各输出信号分别分配为第一信号和第二信号；触发器(52)，其例如以10kHz对第一信号进行采样，在检测出规定的特征时产生触发信号；触发产生时刻计数器(54)，其接收触发信号并决定触发产生时刻；数据记录器(55)，其例如以1MHz对第二信号进行采样来制作采样数据；以及PC(50)，其通过对采样数据中的与以由触发产生时刻计数器(54)决定的触发产生时刻为基准的固定期间相对应的数据进行波形分析，对等离子体处理装置(2)所产生的异常进行分析。

主权项

一种异常检测系统，其用于对处理装置中产生的异常进行检测，该异常检测系统特征在于，包括：多个超声波传感器，其用于检测在上述处理装置中产生的声发射；分配单元，其将上述多个超声波传感器的各输出信号分别分配为第一信号和第二信号；触发产生单元，其以第一频率对上述第一信号进行采样，在检测出规定的特征时产生触发信号；触发产生时刻决定单元，其接收上述触发信号来决定触发产生时刻；数据制作单元，其以高于上述第一频率的第二频率对上述第二信号进行采样来制作采样数据；以及数据处理单元，其通过对上述采样数据中的与以由上述触发产生时刻决定单元决定的上述触发产生时刻为基准的固定期间相对应的数据进行波形分析，对上述处理装置中产生的异常进行分析。