用于内联化学气相沉积的方法和系统

摘要

公开了用于制作器件的内联化学气相沉积方法和系统。该方法包括将网状或者分立衬底传输通过具有多个沉积模块的沉积室。在分别通过第一沉积模块，第二沉积模块和第三沉积模块期间，缓冲层，窗口层和透明导电层被沉积到该衬底上。有利地，在单一沉积室的共同真空环境中连续地执行用于产生缓冲层，窗口层和透明导电层的步骤并且消除了沉积缓冲层的传统化学浴沉积工艺的使用。该方法适于制造不同类型的器件，包括各种类型的太阳能电池，例如铜铟镓硒太阳能电池。

主权项

一种制作器件的内联化学气相沉积方法，所述方法包括：将衬底传输通过具有真空环境和第一沉积模块，第二沉积模块和第三沉积模块的沉积室；在所述衬底传输通过所述第一沉积模块期间将缓冲层沉积到所述衬底上；在所述衬底传输通过所述第二沉积模块期间将窗口层沉积到所述缓冲层上；以及在所述衬底传输通过所述第三沉积模块期间将透明导电层沉积到所述窗口层上。