| 发明名称 |
基板检测装置及基板检测方法;SUBSTRATE INSPECTION APPARATUS AND SUBSTRATE INSPECTION METHOD |
| 摘要 |
基板检测装置系包括电阻值计算部、电阻值测定部及控制部。电阻值计算部计算出设置于基板上的数个网格的相对于设计电阻R之计算电阻Rc。电阻值测定部测定数个网格的相对于设计电阻R之测定电阻Rd。控制部藉由将各网格的电阻值分配比Rp及各网格的电阻值分配比之平均与阈值进行比较，来判断前述基板之良好与否。电阻值分配比系以各网格的测定电阻Rd之相对于各网格的计算电阻Rc的比率所计算而得。由于能侦测出如鼠啮状缺口(bite mouse)这类的裂痕(Nick)缺陷，因而提高了基板检测的精准度。 |
| 申请公布号 |
TW201428307 |
申请公布日期 |
2014.07.16 |
| 申请号 |
TW102143156 |
申请日期 |
2013.11.27 |
| 申请人 |
三星电机股份有限公司 |
发明人 |
孙永洛;金东琪 |
| 分类号 |
G01R27/02(2006.01);G01R31/26(2006.01) |
主分类号 |
G01R27/02(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
祁明辉;林素华 |
| 主权项 |
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| 地址 |
SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD. 南韩 |
