| 发明名称 | 基底支撑装置和使用该基底支撑装置的热处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种基底支撑装置及使用该基底支撑装置的热处理装置。基底支撑装置包括本体构件和多个支撑构件，多个加热对象彼此分离地叠置在本体构件上，多个支撑构件沿本体构件内的每个加热对象的表面设置并支撑每个加热对象的表面。 | ||
| 申请公布号 | CN103928382A | 申请公布日期 | 2014.07.16 |
| 申请号 | CN201410011529.3 | 申请日期 | 2014.01.10 |
| 申请人 | 杰宜斯科技有限公司 | 发明人 | 李铸炯 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 聂慧荃;黄艳 |
| 主权项 | 一种基底支撑装置，包括：本体构件，多个加热对象被彼此分离地叠置在所述本体构件上；以及多个支撑构件，沿所述本体构件内的每个加热对象的表面设置并支撑每个加热对象的表面。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道鸟山市 | ||