基板处理装置及其方法;APPARATUS AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE

摘要

本发明提供一种基板处理装置,包括有其上具有容纳复数个基板之载具的负载埠、供应电浆以处理该晶圆之上表面的电浆处理单元,以及于载具和电浆处理单元之间传递基板的基板传输单元。并且,基板之构造系为由背景晶圆贴附于固定于架环上之装设带上所形成。