用于温度控制之系统及方法;SYSTEMS AND METHODS FOR TEMPERATURE CONTROL

摘要

根据本揭示案之材料、组分及方法系关于制造及使用含气体之微尺度通道，其中该微通道可包括基体及侧部，其中可将该基体及该侧部配置来至少形成流入口及流出口之至少一部分。可将该微通道配置来容纳在实质上垂直于该微通道截面之第一方向中自该流入口至该流出口之气流。该侧部之厚度可在约0.5 μm与约500 μm之范围内，其中部分藉由在该基体上设置侧部来形成厚度在约0.5 μm与约500 μm之范围内之微通道。