| 发明名称 | 用于等离子体浸没式离子注入机的控制模块 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于离子注入机的包括电源的控制模块，所述电源包括：发电机(HT)，所述发电机(HT)的正极接地；第一断路器(SW1)，所述第一断路器(SW1)的第一极被连接至所述发电机(HT)的负极并且所述第一断路器(SW1)的第二极被连接至所述电源的输出端子(S)；以及第二断路器(SW2)，所述第二断路器(SW2)的第一极被连接至所述输出端子(S)且所述第二断路器(SW2)的第二极被连接至中性端子(N)。另外，所述控制模块包括在所述第二断路器(SW2)的第二极和所述中性端子(N)之间流动的电流的测量电路(AMP)。本发明还涉及一种装备有该控制模块的离子注入机。 | ||
| 申请公布号 | CN103930967A | 申请公布日期 | 2014.07.16 |
| 申请号 | CN201280049353.X | 申请日期 | 2012.10.03 |
| 申请人 | 离子射线服务公司 | 发明人 | F·托瑞格罗萨;L·洛克斯 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I;C23C14/48(2006.01)I;G01R19/00(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 郭思宇 |
| 主权项 | 一种用于离子注入机的包括电源的控制模块，所述电源包括：‑发电机(HT)，所述发电机(HT)的正极接地，‑第一断路器(SW1)，所述第一断路器(SW1)的第一极被连接至所述发电机(HT)的负极并且所述第一断路器(SW1)的第二极被连接至所述电源的输出端子(S)，‑第二断路器(SW2)，所述第二断路器(SW2)的第一极被连接至所述输出端子(S)且所述第二断路器(SW2)的第二极被连接至中性端子(N)，所述控制模块的特征在于包括在所述第二断路器(SW2)的第二极和所述中性端子(N)之间流动的电流的测量电路(AMP)。 | ||
| 地址 | 法国佩尼耶 | ||