使用校准及成像检测基板;INSPECTION OF SUBSTRATES USING CALIBRATION AND IMAGING

摘要

揭示一种检测系统。光学组合件在光源与侦测器间建立光学路径。光学组合件具有相对大数量的纵向色像差，以使得在第一波长处的光聚焦在该光学路径中基板的一区域上，同时在第二波长处的光同步的聚焦在该基板的另一区域。系统能在校准模式中操作以判定符合在该基板中有关的区域之一或更多光的波长以及在成像模式中用以成像在基板中有关的区域。