一种光刻投影物镜微位移控制的电路结构

摘要

一种光刻投影物镜微位移控制的电路结构属于光刻投影物镜控制领域，目的在于解决现有技术存在的定位精度低和成本高的问题。本发明包括算法与时序发生电路、高压驱动与数字电容采集电路和电容模数转换电路；算法与时序发生电路和所述高压驱动与数字电容采集电路之间使用自定义协议通信，并通过VME总线技术规范中的P1连接器实现物理连接，高压驱动与数字电容采集电路和电容模数转换电路之间使用自定义协议通信，并通过低压差分数字信号传输线缆实现物理连接；所述电路结构采用N-111.2A压电陶瓷驱动器作为执行元件，采用D-E30.500电容传感器作为反馈元件。本发明可以满足光刻投影物镜中移动镜片的量程与定位精度需求，成本低。

主权项

一种光刻投影物镜微位移控制的电路结构，其特征在于，包括算法与时序发生电路（7）、高压驱动与数字电容采集电路（9）和电容模数转换电路（14）；所述算法与时序发生电路（7）和所述高压驱动与数字电容采集电路（9）之间使用自定义协议通信，并通过VME总线技术规范中的P1连接器实现物理连接，所述高压驱动与数字电容采集电路（9）和电容模数转换电路（14）之间使用自定义协议通信，并通过低压差分数字信号传输线缆实现物理连接；所述电路结构采用N‑111.2A压电陶瓷驱动器（20）作为执行元件，采用D‑E30.500电容传感器（19）作为反馈元件。