晶盒盛放台

摘要

本实用新型提出了一种晶盒盛放台，包括设有顶盘和底盘的外部框架、位于外部框架内的圆柱销、固定在圆柱销侧壁的圆柱销挡片、位于外部框架内的活动部件、固定在活动部件侧壁的感应器、与外部框架的顶盘和底盘相固的顶杆以及至少位于活动部件内部的卡槽手柄，顶杆设有两个具有预定间距的卡槽，卡槽手柄的一端位于卡槽内，另一端伸出底盘。在晶盒盛放台存在故障时，手动下拉卡槽手柄使其从较高的卡槽内下移至较低的卡槽内，卡槽手柄能够带动活动部件和传感器下移，能使传感器避开圆柱销挡片，忽略报错问题，使存在故障的晶盒盛放台无法工作，避免人为操作失误将晶盒放置在存在故障的晶盒盛放台致使晶圆被刮伤、相撞甚至报废。

主权项

一种晶盒盛放台，用于盛放晶盒，其特征在于，所述盛放台包括：外部框架、圆柱销、至少一个圆柱销挡片、活动部件、至少一个感应器、至少一个顶杆以及至少一个卡槽手柄，其中，所述外部框架包括顶盘和底盘，所述圆柱销位于所述外部框架内，一端伸出所述外部框架的顶盘预定高度，另一端与所述底盘相连接，所述圆柱销挡片固定在所述圆柱销侧壁，所述感应器固定在所述活动部件侧壁，并在所述圆柱销被下压后与所述圆柱销挡片面相对，所述顶杆两端分别与所述外部框架的顶盘和底盘相固定，所述顶杆设有两个具有预定间距的卡槽，所述卡槽手柄位于所述活动部件内部，一端位于所述卡槽内，另一端伸出所述底盘。