半导体制造装置用晶舟

摘要

【物品用途】;本设计的物品是半导体制造装置用晶舟，通常是在对半导体晶圆上进行成膜时，为了在反应室内使半导体晶圆保持水平用的晶舟。;【设计说明】;如B-B放大剖面图所示，半导体晶圆是被载置于形成在前方左右及后方左右的梳状保持部。