加热基板之方法及设备

摘要

于此提供了一种用于加热基板的方法和装置。在一实施例中，基板加热器包括一容器，一液体以及一热源，该容器具有上部构件，该上部构件包括用于支撑于其上之基板的顶表面；该液体系设置在容器中，并部分地装填容器；该热源用以提供足够的热，以使液体沸腾。可选择地，可提供用于调节容器中压力的压力控制器。基板是由以下步骤加热的：首先，在基板加热器之容器的支撑表面上放置基板。随后使包含于容器中的液体沸腾。随着液体沸腾，将在支撑表面的底侧上沈积经加热之凝结物的均匀薄膜。经加热的凝结物则加热支撑表面，进而加热基板。

主权项

一种加热基板的方法，包括：将一基板放置在一基板加热器的一支撑构件上，该基板加热器包括用一液体部分装填的一容器；使该液体沸腾，以在该支撑构件的底侧上产生一凝结薄膜以加热该基板；以及当加热该基板时，控制该液体的沸点至一所欲温度，其中该液体的沸点系藉由控制于该容器内的气体之数量，以控制该容器内的压力于一所欲水准而控制。