喷气头绝缘器及蚀刻室衬垫

摘要

本发明大致包含一喷气头绝缘器，以将一喷气头组件与一处理腔室壁电绝缘；一腔室衬垫组件，以加衬垫于一处理腔室；一下部腔室衬垫，以加衬垫于一处理腔室之一排气区；以及一均流筛，以确保一处理腔室的均匀排气。当在蚀刻腔室内处理一基板时，喷气头需与地面电绝缘。喷气头绝缘器可将喷气头与地面绝缘，同时亦防止电浆进入其所占据的容积。腔室衬垫可保护腔室避免于污染，并减少腔室清洁。均流筛能使处理气体均匀地被牵引入排气通道中，而非以一不均衡的流进入排气通道中。下部衬垫可助于均匀地抽吸真空，并保护腔室避免于污染。

主权项

一种衬垫组件，其包含：一衬垫主体，其具有一凸缘部份、一狭缝阀部份以及一突出部部份，其中该狭缝阀部份系耦接至该突出部部份，且该突出部部份系耦接至该凸缘部份，其中该突出部部份包含：一第一顶表面，其耦接至该凸缘部份；一第一外表面；一第一底表面；一第一内表面；一第二内表面以及一第二底表面，其中该第一内表面系径向地设置在该第二内表面的内部；以及一环主体，其与该衬垫主体耦接，该环主体包含一第二顶表面；一第二外表面；一第三底表面以及一第三顶表面，其中该第二顶表面系藉由一第一斜向表面耦接至该第三顶表面，该第一斜向表面系相对于该第二顶表面、该第二外表面、该第三底表面以及该第三顶表面倾斜，其中该第二外表面系与该第二内表面耦接，且该第二顶表面系与该第一底表面耦接，其中该第一斜向表面从该第一底表面延伸，其中该衬垫主体延伸于该环主体的上方及下方，且其中该第二顶表面和该第二外表面藉由一接合材料而分别耦接至该衬垫主体之该突出部部份之该第一底表面和该第二内表面。