| 发明名称 |
减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备 |
| 摘要 |
一种减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备，包括一蚀刻槽、设置于蚀刻槽内的一给药管以及包覆给药管的一气泡引导装置。所述气泡引导装置能引导自上述给药管排出的气泡往给药管之至少一端部移动。 |
| 申请公布号 |
TWI445199 |
申请公布日期 |
2014.07.11 |
| 申请号 |
TW100112653 |
申请日期 |
2011.04.12 |
| 申请人 |
联景光电股份有限公司 桃园县观音乡中山路1段1560号 |
发明人 |
陈其成 |
| 分类号 |
H01L31/18 |
主分类号 |
H01L31/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
| 主权项 |
一种减少太阳能电池表面的蚀刻痕的设备，适用于一太阳能电池的蚀刻制程，该设备至少包括：一蚀刻槽；一给药管，设置于该蚀刻槽内；以及一气泡引导装置，包覆该给药管，以便引导自该给药管排出的气泡往该给药管之端部移动。 |
| 地址 |
桃园县观音乡中山路1段1560号 |
