辐射敏感性树脂组成物

摘要

本发明之辐射敏感性树脂组成物具有优异敏感度同时可良好地保持MEF。本发明提供一种光罩误差因子(Mask Error Factor)小之辐射敏感性树脂组成物，其包含由以下式(1-1)表示之重复单位与以下式(1-2)所示之重复单位构成之树脂(A1)及辐射敏感性酸产生剂(B)：;(1-1)，;R1、R2、R3分别代表碳数1~4之直链状或分支状烷基，R4代表氢原子、碳数2~4之直链状或分支状烷基、碳数1~4之直链状或分支状氟化烷基或碳数1~4之直链状或分支状烷氧基，q代表0~3之整数。

主权项

一种辐射敏感性树脂组成物，其特征为包含树脂(A2)及辐射敏感性酸产生剂(B)，该树脂(A2)含有以下式(1-1)所示重复单位、以下式(1-2)所示重复单位及以下式(1-3)所示重复单位：R代表氢原子、甲基或三氟甲基，R1、R2、R3分别代表碳数1~4之直链状或分支状烷基，R4代表氢原子、碳数1~4之直链状或分支状烷基、碳数1~4之直链状或分支状氟化烷基、或碳数1~4之直链状或分支状烷氧基，q代表0~3之整数，R5代表碳数1~4之直链状或分支状烷基，R6及R7彼此独立代表氢原子或碳数1~4之直链状或分支状烷基，m代表3~7之整数。