Sensor zur Ermittlung einer Prozessgröße eines Mediums

摘要

Sensor (1) zur Ermittlung mindestens einer Prozessgröße eines Mediums (2) mindestens umfassend: – ein metallisches Substrat (3), welches zumindest in einem ersten Bereich (4) eine Aussparung (5) aufweist; und – eine erste dielektrische Schicht (6), die zumindest in dem ersten Bereich (4) auf dem metallischen Substrat (3) angeordnet ist, wobei die erste dielektrische Schicht (6) eine Membran (7) ausbildet; und – zumindest eine Heizstruktur (8), die in dem ersten Bereich (4) auf der als Membran (7) ausgebildeten ersten dielektrischen Schicht (6) angeordnet ist, wobei die Heizstruktur (8) das Medium (2) erhitzt; und – zumindest ein dem ersten Bereich zugeordnetes Temperatursensorelement (9), welches beabstandet von der Heizstruktur (8) auf der ersten dielektrischen Schicht (6) angeordnet ist und die Temperatur des an der Heizstruktur (8) erhitzten Mediums (2) erfasst; und – zumindest eine Schutzschicht (10), welche zumindest die mindestens eine Heizstruktur (8) und das mindestens eine Temperatursensorelement (9) bedeckt.