| 摘要 |
Ein spektroskopischer Sensor 1 umfasst eine Interferenzfiltereinheit 20, die eine Hohlraumschicht 21 und erste und zweite Spiegelschichten 22, 23 aufweist, die über die Hohlraumschicht 21 gegenüber voneinander angeordnet sind, zum selektiven Hindurchlassen von Licht in einem vorbestimmten Wellenlängenbereich gemäß einer diesbezüglichen Einfallsposition; ein Licht-durchlassendes Substrat 3, angeordnet an der Seite der ersten Spiegelschicht 22, zum Hindurchlassen von Licht, das an der Interferenzfiltereinheit 20 einfällt; und ein Licht-detektierendes Substrat 4, angeordnet an der Seite der zweiten Spiegelschicht 23, zum Erfassen des durch die Interferenzfiltereinheit 20 hindurchgelassenen Lichts. Die Hohlraumschicht 21 weist einen Filterbereich 24 auf, der zwischen der ersten und zweiten Spiegelschicht 22, 23 gehalten wird; einen ringförmigen Umgebungsbereich 25, der den Filterbereich 24 mit einem vorbestimmten Abstand davon umgibt; und einen kreisförmigen Verbindungsabschnitt 26, der einen Endabschnitt 24e an der Seite des Licht-detektierenden Substrats 4 des Filterbereichs 24 und einen Endabschnitt 25e an der Seite des Licht-detektierenden Substrats 4 des Umgebungsbereichs 25 miteinander verbindet. |
