用于微光刻的照明光学系统与光学系统

摘要

一种用于微光刻的照明光学系统被用于照明物场(12)。照明光学系统具有第一传输光学系统，用于引导由光源发出的照明光(3)。具有多个照明预设微面(25)的照明预设分面镜(7)布置在第一传输光学系统的下游。照明预设分面镜(7)通过照明预设分面镜(7)的边缘形状以及照明预设微面(25)的各个独立倾斜角，产生物场(12)的预设照明。第一传输光学系统和照明预设分面镜(7)的布置产生物场(12)的远心照明。根据另一方面的光学系统在照明预设分面镜与物场之间包括投射光学系统的入瞳平面，投射光学系统与照明光学系统一起作为用于微光刻的光学系统的一部分。在该另一方面中，第一传输光学系统与照明预设分面镜的布置使得实现了与投射光学系统的入瞳适配的物场的照明。另一方面，在包括投射光学系统及照明光学系统的光学系统中，与投射光学系统的总长度相比，出现较大的物像偏移或更大的中间焦点-像偏移。这使得照明光学系统和光学系统满足关于照明光使用的特定效率要求。

主权项

一种用于微光刻的照明光学系统（11；30；32），用于照明物场（12），－具有第一传输光学系统（4），用于引导从光源（2）发出的照明光（3）；－具有照明预设分面镜（7），其在所述第一传输光学系统（4）的下游且具有多个照明预设微面（25），所述照明预设分面镜（7）通过所述照明预设分面镜（7）的能被照明的边缘形状（24）以及所述照明预设微面（25）的各个独立倾斜角，而产生所述物场（12）的预设照明，其中所述照明光学系统被布置使得所述照明预设分面镜（7）的可以被照明的所述边缘形状（24）可以直接影响所述物场（12）的照明形状；以及－具有布置为产生所述物场（12）的远心照明的所述第一传输光学系统（4）和所述照明预设分面镜（7）的布置。