运送系统

摘要

本发明提供一种能够提高效率的运送系统。其技术方案包括：控制装置(7)根据第1拍摄装置(5)所拍摄的拍摄数据确认被拾取夹具下一次吸附的电子元件的位置，移动固定晶圆框架(W)的固定部，使电子元件位于拾取夹具的吸附端。由此，可以不设置用于矫正姿态的工序或处理装置，因此，能够缩短处理时间。另外，由于能够不用夹住电子元件地矫正姿态，因此，能够防止电子元件的破损，能够防止由清理破损的电子元件所引起的效率低下。

主权项

一种运送系统，其特征在于，包括：保持部(25)，包括：框部(253)，在中央部形成与贴有电子元件的晶圆薄板的平面形状相对应的俯视大致呈矩形的开口，在上部设置与一对X基台的一个X基台(24a)相连接的上部连接部(251)，在下部设置与一对X基台的另一个X基台(24b)相连接的下部连接部(252)；板状的移动部(254)，在中央部形成与所述晶圆薄板的平面形状相对应的开口，该开口与所述框部相对平行配置，以使该开口与所述框部的开口在垂直于所述晶圆薄板的平面的Y轴方向上一致，并且，被所述框部所支撑可沿Y轴方向移动；以及固定部(255)，在中央部形成与所述晶圆薄板的平面形状相对应的开口，该开口配置在所述移动部的Y轴方向负的一侧的面上，以使该开口与所述移动部的开口在Y轴方向上一致，并且通过支撑保持所述晶圆薄板的晶圆框架(W)的边缘部来固定所述晶圆框架；所述保持部(25)以向X轴方向、Z轴方向移动自如并绕Y轴方向移动自如的方式保持所述固定部(255)；第1吸附部(3)，包括依次从所述晶圆薄板上吸附所述电子元件的多个第1夹具(37)；第1相机(51)，从斜向拍摄从所述晶圆薄板被所述第1夹具(37)下一次吸附的所述电子元件；位置检测部(742)，基于通过所述第一相机(51)拍摄的拍摄数据，通过运算检测所述晶圆薄板上的所述电子部件的位置；控制部(741)，通过基于来自所述位置检测部(742)的位置信息控制基于所述保持部(25)的所述固定部(255)的移动动作，使贴在所述晶圆薄板上的所述电子部件与所述第1夹具(37)的吸附端部对向。