发明名称 非易失存储器
摘要 一种可高度按比例缩小的非易失存储器单元(10),它包括制作在三重阱(28)中的存储器单元。选择晶体管(14)可以具有也用作横向双极晶体管(62)的发射极的源(56)。横向双极晶体管(62)用作电荷注入器。电荷注入器提供电子,用来在浮栅(22)上进行电子的衬底热电子注入,以便编程。借助于在所述读出晶体管的源(13)与沟道(25a)之间的衬底上制作电容器(50)作为控制栅(27)的延伸部分,单元的耗尽/反转区可以被延伸。
申请公布号 CN1345466A 申请公布日期 2002.04.17
申请号 CN00805606.4 申请日期 2000.02.25
申请人 硅芯片公司 发明人 D·K·刘;王鼎华
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L21/336;H01L29/788 主分类号 H01L21/8247
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 罗朋;梁永
主权项 1.一种制作存储器单元的方法,它包含:制作彼此分隔开的第一栅和第二栅;用所述第一和第二栅作为注入掩模;以及在所述栅之间形成注入区而不明显地降低衬底热电子效率。
地址 美国加利福尼亚州