使用铜类纳米颗粒高浓度分散液的导体膜及其制造方法

摘要

本发明提供通过短时间且低温处理得到的低电阻的导体膜及其制造方法。该制造方法包括：制备以Cu₂O为主成分的铜类纳米颗粒的高浓度分散液的步骤Sa1；在基材上涂布上述高浓度分散液并干燥，得到以Cu₂O为主成分的涂膜的步骤Sa2；在大气压中以200℃以下的温度对上述涂膜进行加热的步骤Sa3-1；和在还原性气氛中以250℃以下的温度对上述涂膜进行加热的步骤Sa3-2。

主权项

一种导体膜的制造方法，其特征在于，包括： 准备以Cu₂O为主成分的铜类纳米颗粒的高浓度分散液的步骤Sa1； 在基材上涂布所述高浓度分散液并干燥，得到以Cu₂O为主成分的涂膜的步骤Sa2； 在大气压中以200℃以下的温度对所述涂膜进行加热的步骤Sa3－1；和 在还原性气氛中以200℃以下的温度对所述涂膜进行加热的步骤Sa3－2， 所述步骤Sa1的高浓度分散液是通过在分散溶剂的沸点以上的温度进行加热，或者通过在分散溶剂的沸点以下的温度在减压下蒸馏除去该溶剂而高浓度化得到的，并且，是在该加热工序中，通过 （i）利用含有氮或氩的不活泼气体进行鼓泡，或 （ii）利用还原性气体进行鼓泡 中的任一种方法，将内部的气氛保持为非氧化性气氛，在该状态下高浓度化而得到的， 所述步骤Sa1中的铜类纳米颗粒中，0.2～2nm厚的表面层由Cu₂O相、或Cu₂O和CuO的混合相构成，并且0.2～2nm厚的表面层的内侧由Cu相、Cu和Cu₂O的混合相、或Cu₂O相中的任一种构成。