| 发明名称 | 一种气体传感器的传感元件 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于确定混合气体中气体成分的气体传感器的传感元件，其包括具有源极电极、漏极电极以及栅极电极的场效应晶体管。栅极电极包括一个通过边界层(25)与绝缘层(24)或者与场效应晶体管的半导体衬底(22)接触的栅极金属化结构(27)，其中使用金属醇盐、金属氨化物、金属卤化物和/或金属烷基对绝缘层(24)或者半导体衬底(22)进行表面改性的方式形成边界层(25)。本发明还涉及一种制造上述传感元件的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN102099673B | 申请公布日期 | 2014.07.09 |
| 申请号 | CN200980103270.2 | 申请日期 | 2009.01.07 |
| 申请人 | 罗伯特.博世有限公司 | 发明人 | M·维登迈耶;D·埃尔贝 |
| 分类号 | G01N27/414(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/414(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 李少丹;李家麟 |
| 主权项 | 一种用于确定混合气体中气体成分的气体传感器的传感元件，该传感元件包括具有源极电极、漏极电极以及栅极电极的场效应晶体管，其特征在于，所述栅极电极包括栅极金属化结构(27)，该栅极金属化结构(27)通过边界层(25)与绝缘层(24)或者与场效应晶体管的半导体衬底(22)接触，其中通过利用金属醇盐、金属氨化物、金属卤化物或金属烷基对绝缘层(24)或者半导体衬底(22)进行表面改性来形成边界层(25)，其中在用金属醇盐、金属氨化物、金属卤化物或金属烷基进行处理之后，进行水解，然后对所施加的金属醇盐、金属氨化物、金属卤化物或金属烷基进行脱水。 | ||
| 地址 | 德国斯图加特 | ||