无甲醛化学镀铜组合物及方法

摘要

无甲醛化学镀铜组合物及方法。提供了一种组合物，所述组合物包含一种或多种铜离子源，一种或多种螯合剂和一种或多种具有下面分子式的还原剂，其中X^y+是分子式(I)的中和反阳离子；Z可以是氢、取代的，未取代的，线性或支化烷基、取代的，未取代的，线性或支化烯基、烯丙基、乙酰基或者取代或未取代的芳基；m是0-6的整数，条件是当m为0时，S和-O-(Z)_n的O之间形成共价键；以及n是0或1的整数，且当n＝0时氧带有负电荷。

主权项

1.一种组合物，所述组合物包含一种或多种铜离子源，一种或多种螯合剂和一种或多种具有下面分子式的还原剂：其中X^y+是分子式(I)的中和反阳离子，其中y+是1或更大的整数以及可以是H⁺、铵阳离子、季铵阳离子、锍阳离子、鏻阳离子、吡啶鎓阳离子、单价金属阳离子、多价金属阳离子或者二价有机金属阳离子；R和R’独立的是氢、羟基、羟烷基、烷氧基、烷氧基烷基、氰基、卤素、卤代烷基、酯、硫醇、硫醇酯、羧基、羧基烷基、磺酸基、亚砜、取代的，未取代的，线性或支化烷基、取代的，未取代的，线性或支化炔基、氨基、胺基、酰胺基、亚磺酸基；取代或未取代的芳基；Z可以是氢、取代的，未取代的，线性或支化烷基、取代的，未取代的，线性或支化烯基、烯丙基、乙酰基或者取代或未取代的芳基；m是0-6的整数，条件是当m为0时，S和-O-(Z)_n的O之间形成共价键；以及n是0或1的整数，且当n＝0时氧带有负电荷。