用于倒角机的晶圆吸附装置及包含其的倒角机

摘要

本实用新型提供一种用于倒角机的晶圆吸附装置及包含其的倒角机，其包括有一硬质的吸盘，所述用于倒角机的晶圆吸附装置还包括有一图形识别装置；所述吸盘用于吸附晶圆的一面上设置有一陶瓷层；所述图形识别装置对准所述吸盘设置有所述陶瓷层的一面，用于在所述吸盘未搭载晶圆时，对陶瓷层上的图形特征进行辨识。通过在硬质的吸盘上设置陶瓷层，使得碎渣不易嵌入的附着于硬质的吸盘，且在硬质的吸盘形变时，通过陶瓷层的裂缝可以轻易的辨识，在降低成本的同时提高了生产效率；进一步通过设置图形识别装置，使得吸盘的损坏可以在第一时间被发觉，避免了损失。

主权项

一种用于倒角机的晶圆吸附装置，其包括有一硬质的吸盘，其特征在于，所述用于倒角机的晶圆吸附装置还包括有一图形识别装置；所述吸盘用于吸附晶圆的一面上设置有一陶瓷层；所述图形识别装置对准所述吸盘设置有所述陶瓷层的一面，用于在所述吸盘未搭载晶圆时，对所述陶瓷层上的图形特征进行辨识。