用于硬掩模组合物的单体和包含单体的硬掩模组合物及使用硬掩模组合物形成图案的方法

摘要

本发明公开了用于硬掩模组合物的单体和包含单体的硬掩模组合物及使用硬掩模组合物形成图案的方法。用于硬掩模组合物的单体，由下面化学式1表示，其中在化学式1中，A₀、A₁、A₂、L₁、L₁′、L₂、L₂′、X₁、X₂、m和n与具体实施方式中相同。[化学式1]

主权项

1.一种用于硬掩模组合物的单体，由下面化学式1表示： [化学式1] 其中，在上面化学式1中， A₀为取代的或未取代的多环芳基， A₁和A₂各自独立地为取代的或未取代的C6至C20芳基， L₁、L₁′、L₂和L₂′各自独立地为单键或取代的或未取代的C1至C6亚烷基， X₁和X₂各自独立地为氢、羟基、亚硫酰基、硫醇基、氰基、取代的或未取代的氨基、取代的或未取代的C1至C30烷基，取代的或未取代的C1至C20烷基胺基，或取代的或未取代的C1至C30烷氧基，以及 m和n独立地为0至6的整数， 其条件是m和n不同时为0。