干涉物镜驱动装置

摘要

本实用新型公开了一种干涉物镜驱动装置，其包括：本体，所述本体上形成有贯通的腔室，腔室的一侧一体形成双平行板四杆机构，双平行板四杆机构由柔性铰链形成；安装架和固定架；压电陶瓷、预紧顶丝、滚珠，压电陶瓷、滚珠位于所述腔室中，预紧顶丝与所述本体相螺接，且与所述双平行板四杆机构相对设置，滚珠与预紧顶丝相配合，且与压电陶瓷相抵靠，所述压电陶瓷与所述滚珠相对的一端与所述双平行板四杆机构相抵靠。本实用新型的干涉物镜驱动装置采用了柔性铰链形成的双平行板四杆机构进行传动，其结构紧凑，当外形尺寸受限且驱动力确定的情况下，其能够获得最大的位移输出比。此外，其传动关系明确、无传动空程、无摩擦、精度高、强度好。

主权项

一种干涉物镜驱动装置，其特征在于，所述干涉物镜驱动装置包括：本体，所述本体上形成有贯通的腔室，所述腔室的一侧一体形成双平行板四杆机构，所述双平行板四杆机构由柔性铰链形成；安装架和固定架，所述安装架设置于所述双平行板四杆机构上，且与所述双平行板四杆机构一体成型，所述固定架与所述安装架相对地设置于所述本体的另一端；压电陶瓷、预紧顶丝、滚珠，所述压电陶瓷、滚珠位于所述腔室中，所述预紧顶丝与所述本体相螺接，且与所述双平行板四杆机构相对设置，所述滚珠与所述预紧顶丝相配合，且与压电陶瓷相抵靠，所述压电陶瓷与所述滚珠相对的一端与所述双平行板四杆机构相抵靠。