带有端面微结构的双光纤共球耦合微测量力瞄准传感器

摘要

带有端面微结构的双光纤共球耦合微测量力瞄准传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器、扩束准直镜、光纤耦合透镜、导管、显微物镜、CCD相机、计算机和由入射光纤、耦合器、带有锥形端面微结构的出射光纤组成的探针，耦合器作为探针的触点，光束经入射光纤导入耦合器后由带有锥形端面微结构的出射光纤导出，导出光束经显微物镜进入CCD相机，通过图像处理技术即可得到出射光束在CCD相机上形成的光斑能量中心位置，由CCD相机上光斑能量中心位置与传感器触测点在空间位置的一一对应关系即可得出传感器在空间的瞄准情况；本传感器探针中的出射光纤带有端面微结构，极大的提高了检测信号的信噪比，提升了传感器的测量分辨力。

主权项

一种带有端面微结构的双光纤共球耦合微测量力瞄准传感器，所述传感器由激光器(1)、扩束准直镜(2)、光纤耦合透镜(3)、导管(4)、探针(8)、显微物镜(10)、CCD相机(11)和计算机(12)构成，数据线将CCD相机(11)与计算机(12)连通，探针(8)置于待测微孔(9)内；其特征在于：所述探针(8)包括入射光纤(5)、耦合器(6)和带有锥形端面微结构的出射光纤(7)，耦合器(6)分别与入射光纤(5)和带有锥形端面微结构的出射光纤(7)连接，耦合器(6)作为探针(8)的触点，激光器(1)发出的光束经扩束准直镜(2)与光纤耦合透镜(3)进入入射光纤(5)，光束经入射光纤(5)导入耦合器(6)后由带有锥形端面微结构的出射光纤(7)导出，导出光束经显微物镜(10)进入CCD相机(11)。