一种在硬质合金基体表面制备纳米结构硬质涂层的方法

摘要

一种在硬质合金基体表面制备纳米结构硬质涂层的方法。将硬质合金基体研磨，抛光，超声清洗，离子源清洗；预溅射；溅射沉积。采用直流和射频反应共溅射法，在一定沉积压强、温度、氮气分压等条件下通过控制Si靶功率在基体表面制备纳米结构氮硅锆硬质涂层。当ZrSiN涂层中Si含量降低时，Si原子在涂层中以取代Zr原子的形式存在，因此低Si含量的ZrSiN涂层为固溶体，截面为柱状结构。随着Si含量的增加ZrSiN涂层的固溶度增加，硬度增加。当涂层中Si含量达到一定后，过多Si元素会与N元素在晶界处形成非晶态Si₃N₄。随着涂层中Si含量进一步增加会产生大量的非晶态Si₃N₄，涂层变为非晶态，为非柱状等轴结构。

主权项

一种在硬质合金基体表面制备纳米结构硬质涂层的方法，其特征在于其步骤如下：1)将硬质合金基体依次研磨，抛光，超声清洗，离子源清洗；2)预溅射；3)溅射沉积，完成在硬质合金基体表面制备纳米结构硬质涂层。