一种用于区熔炉的载料装置

摘要

本实用新型涉及非金属晶体的制造设备，旨在提供一种用于区熔炉的载料装置。该载料装置包括活动料盘、上固定夹料盘、下固定夹料盘、固定杆、旋转卡块、旋转轴、卡头、摄像镜头、机械臂、图像处理系统和用于夹持多晶料的多晶料夹头。本实用新型能够对多晶料实现稳定、可靠的夹持，减轻了人工劳力的工作，减少了拉晶的准备时间，提高了生产效率，能够满足大直径区熔炉产业化的载料要求。

主权项

一种用于区熔炉的载料装置，包括活动料盘，其特征在于，所述载料装置还包括上固定夹料盘、下固定夹料盘、固定杆、旋转卡块、旋转轴、卡头、摄像镜头、机械臂、图像处理系统和用于夹持多晶料的多晶料夹头；上固定夹料盘固定在区熔炉的上轴下端，下固定夹料盘通过固定杆固定在上固定夹料盘的下方，下固定夹料盘设有孔；旋转轴设置在下固定夹料盘的上端面，旋转卡块固定在旋转轴上，并可沿着旋转轴轴线旋转，旋转卡块上有开孔，且与下固定下料盘的孔垂直对应，旋转卡块上的开孔的直径小于下固定下料盘的孔的直径；所述卡头上端可穿过下固定下料盘的孔，卡头下端与活动料盘连接，活动料盘上设有多晶料夹头；摄像镜头设置在区熔炉的炉壁上，机械臂和图像处理系统设置在区熔炉的炉室外，摄像镜头用于观察区熔炉内载料情况，并将图像传输给图像处理系统，图像处理系统用于根据载料情况进行判断后给机械臂信号，机械臂用于接收到图像处理系统的信号后，完成载料动作。