基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量装置，该装置包括：同步辐射加速器，用于产生平行同步X射线光；双晶单色器将X射线光转换为单一波长、高准直的平行X射线；X射线垂直照射顺序平行放置的指示光栅和标尺光栅，以产生莫尔条纹；标尺光栅与运动部件连接在一起；X射线探测器，用于探测莫尔条纹并输出相应的电信号；条纹细分和显示装置，用于对X射线探测器输出的电信号进行条纹细分和显示处理。本发明还公开了一种基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量方法。本发明能够提高现有光栅莫尔条纹位移测量技术的分辨率和灵敏度，增加两块光栅之间的距离，降低光栅安装过程中的难度，提高系统使用的稳定性和可靠性。

主权项

一种基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量装置，其特征在于，该装置包括：同步辐射加速器（1）、双晶单色器（2）、指示光栅（3）、标尺光栅（4）、X射线探测器（5）和条纹细分和显示装置（6），其中：所述同步辐射加速器（1）用于产生平行同步X射线光；所述双晶单色器（2）用于将所述同步辐射加速器（1）产生的平行同步X射线光转换为单一波长、高准直的平行X射线；所述平行X射线垂直照射顺序平行放置的指示光栅（3）和标尺光栅（4），以产生莫尔条纹；其中，所述指示光栅（3）用于对X射线进行振幅调制；所述标尺光栅（4）用于对穿过指示光栅（3）的X射线进行振幅调制；所述标尺光栅（4）与运动部件连接在一起，所述运动部件的运动方向与所述标尺光栅（4）的刻线方向近似垂直；所述X射线探测器（5）置于所述标尺光栅（4）之后，用于探测所述莫尔条纹，并输出相应的电信号；所述条纹细分和显示装置（6）置于所述X射线探测器（5）之后，用于对所述X射线探测器（5）输出的电信号进行条纹细分和显示处理，以进行数显控制。