| 发明名称 | 一种用于固定区熔多晶硅棒卡盘的软连接螺钉 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种用于固定区熔多晶硅棒卡盘的软连接螺钉，该螺钉包括螺钉杆、螺母、弹簧和螺钉底座，其中，螺母设在螺钉杆的顶端，该螺钉杆的底端连接弹簧，该弹簧的下端连接螺钉底座。所述螺钉杆的底端与弹簧之间设有一螺钉块，该螺钉块上设有供螺钉杆的底端卡入的卡槽。采用本实用新型，在提升多晶硅棒晃动时可以给予卡盘小范围的活动量，防止了多晶硅棒晃动严重时出现卡槽断裂的现象，不仅提高了多晶硅棒的利用率，同时减少了对设备部件的毁坏。 | ||
| 申请公布号 | CN203683718U | 申请公布日期 | 2014.07.02 |
| 申请号 | CN201320740577.7 | 申请日期 | 2013.11.20 |
| 申请人 | 有研新材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司 | 发明人 | 付斌;闫志瑞;杨凯;方峰;李青宝;吴晓;郭希 |
| 分类号 | C30B13/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B13/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人 | 刘秀青;熊国裕 |
| 主权项 | 一种用于固定区熔多晶硅棒卡盘的软连接螺钉，其特征在于，该螺钉包括螺钉杆、螺母、弹簧和螺钉底座，其中，螺母设在螺钉杆的顶端，该螺钉杆的底端连接弹簧，该弹簧的下端连接螺钉底座。 | ||
| 地址 | 100088 北京市西城区新街口外大街2号 | ||