负压生成装置

摘要

本发明提供负压生成装置，其具有：水密封式真空泵（10）；吸引路径（20），其对加工装置（100）的卡盘台（102）赋予吸引力并经过所述卡盘台（102）吸引空气和加工液（L），该加工装置（100）具有加工构件（101）；排水箱（30），其储存水密封式真空泵（10）的密封水和吸引出的加工液（L）的混合液（L2）；供给路径（40），其将储存在排水箱（30）中的混合液（L2）作为密封水提供到水密封式真空泵（10）；加工屑去除构件（50），其去除从排水箱（30）送出的混合液（L2）所包含的加工屑；及返回路径（60），其将从加工屑去除构件（50）排出的去除加工屑后的处理水（L3）返回到排水箱（30）。

主权项

一种负压生成装置，其对加工装置的卡盘台赋予吸引力，该加工装置具有所述卡盘台和加工构件，在所述卡盘台上保持被加工物，该加工构件在将加工液提供给保持在所述卡盘台上的所述被加工物的同时对所述被加工物进行磨削或切削，该负压生成装置具有：水密封式真空泵，其具有吸引口、排出口和水供给口；吸引路径，其将所述吸引口和所述卡盘台连通，通过所述卡盘台吸引空气和包含由于加工而从所述被加工物产生的加工屑的所述加工液；排水箱，其经由排出路径而与所述排出口连通，储存从所述排出口排出的所述水密封式真空泵的密封水和吸引出的所述加工液混合而成的混合液；供给路径，其与所述排水箱以及所述水供给口连通，将储存在所述排水箱中的所述混合液作为密封水提供给所述水密封式真空泵；加工屑去除构件，其经由送出路径而与所述排水箱连通，去除从所述排水箱送出的所述混合液所包含的所述加工屑；以及返回路径，其将从所述加工屑去除构件排出的去除了所述加工屑的处理水返回给所述排水箱。