| 主权项 |
一种溅射系统，包括：第一溅射单元，包括：第一沉积材料板；第二沉积材料板，其中，第一沉积材料板和第二沉积材料板彼此面对；磁场产生器，布置在第一沉积材料板和第二沉积材料板中的每个的后面，用于产生磁场；第二溅射单元，包括：第三沉积材料板，被布置为靠近第一沉积材料板；第四沉积材料板，被布置为靠近第二沉积材料板，其中，第三沉积材料板和第四沉积材料板彼此面对；磁场产生器，布置在第三沉积材料板和第四沉积材料板中的每个的后面，用于产生磁场；第一气体供应管，布置在第一沉积材料板和第三沉积材料板之间，用于将气体排放到第二沉积材料板和第四沉积材料板；第二气体供应管，布置在第二沉积材料板和第四沉积材料板之间，用于将气体排放到第一沉积材料板和第三沉积材料板；第一基底支撑单元，朝向第一沉积材料板和第二沉积材料板的外边缘，用于支撑第一沉积基底；第二基底支撑单元，朝向第三沉积材料板和第四沉积材料板的外边缘，用于支撑第二沉积基底，其中，第一沉积材料板和第二沉积材料板的外边缘以预定角度倾斜，与第一沉积材料板和第二沉积材料板的内边缘相比，第一沉积材料板和第二沉积材料板的外边缘彼此更靠近并更靠近第一基底支撑单元，第三沉积材料板和第四沉积材料板的外边缘以预定角度倾斜，与第三沉积材料板和第四沉积材料板的内边缘相比，第三沉积材料板和第四沉积材料板的外边缘彼此更靠近并更靠近第二基底支撑单元。 |
