检查具有不规则凹凸表面之基板的装置以及使用该装置之方法

摘要

本发明系提供对具有凹凸表面的基板P进行检查之装置102，包括：对基板P照射第1检测光的第1照射系统(114、116)；从经照射第1检测光的基板之凹凸表面全体，进行辉度斑检测的第1检测系统(112)；将具有与第1检测光不同波长的第2检测光，照射于基板的第2照射系统(124、126)；以及对经第2检测光照射的基板的凹凸表面，进行缺陷检测的第2检测系统(122)。本发明系提供针对具有不规则凹凸表面的基板之辉度斑及局部性图案缺陷二者，能有效率且低成本进行检查的检查装置及检查方法。