真空吸盘头

摘要

一种真空吸盘头，其包括一基座及一基板载体。该基座具有一枢接管及一承载部。该枢接管系连接该承载部。该承载部具有一大凹槽、一小凹槽及一气孔。该小凹槽系形成于该大凹槽内。该气孔系贯穿该承载部，且连通该枢接管内、该大凹槽及该小凹槽。该基板载体系设于该基座的承载部上，且包括一支撑块、一大支撑座及一小支撑座。该大支撑座及该小支撑座系形成于该支撑块上，且分别位在该支撑块的两相对面。该基板载体具有一通孔，该通孔系贯通该大支撑座、该支撑块及该小支撑座，且连通该气孔。

主权项

一种真空吸盘头，用于一旋转涂布设备，该旋转涂布设备具有一马达，该马达用以带动该真空吸盘头转动，该真空吸盘头包括：一基座，具有一枢接管及一承载部，该枢接管的底部系插接于该马达的转轴上，其顶部系连接该承载部，该承载部具有一大凹槽、一小凹槽及一气孔，该小凹槽系形成于该大凹槽内，该气孔系贯穿该承载部，且连通该枢接管、该大凹槽及该小凹槽；及一基板载体，系设于该基座的承载部上，且包括一支撑块、一大支撑座及一小支撑座，该大支撑座及该小支撑座系形成于该支撑块上，且分别位在该支撑块的两相对面，该基板载体具有一通孔，该通孔系贯通该大支撑座、该支撑块及该小支撑座，且连通该气孔，其中，该承载部的大凹槽系用以接收该大支撑座，该承载部的小凹槽系用以接收该小支撑座。