发明名称 电极及镀膜装置;ELECTRODE AND FILM COATING DEVICE
摘要 本发明提供一种电极,其由导电材料制成并包括第一表面、第二表面及两个相背设置的第一侧面。该第二表面与该第一表面相背设置。该两个第一侧面均与该第一表面及该第二表面连接。该第二表面及该两个第一侧面上均设置复数散热鳍片,用于将该电极产生的热量散发出去。本发明还涉及一种使用该电极的镀膜装置。
申请公布号 TW201425615 申请公布日期 2014.07.01
申请号 TW101149430 申请日期 2012.12.24
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 发明人 王何立颖
分类号 C23C14/34(2006.01) 主分类号 C23C14/34(2006.01)
代理机构 代理人
主权项
地址 HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD. 新北市土城区自由街2号