阵列式微间距探针组及其制造方法

摘要

本发明揭露一种省略导板结构之阵列式微间距探针组及其制造方法。该阵列式微间距探针组系利用一包含贯通孔洞之导板组，以拉线方式形成一探针阵列，并以一胶体结构包覆该探针阵列；利用一研磨制程得到一定尺寸之探针头后，移除导板。该省略导板结构之阵列式微间距探针组，可应用于具微小间距之导电凸块。阵列式微间距探针组可以与水平调整机构配接，用以调整水平，及与空间转换体相配接，以便于与外界装置保持讯号连接。

主权项

一种形成阵列式微间距探针组之方法，包含：提供一导板组，包含以阵列排列之复数贯通孔洞，其中该导板组由一第一导板与一第二导板构成，且该第一导板包含复数第一孔洞与该第二导板包含复数第二孔洞，各该第一孔洞与具相对应关系各该第二孔洞，构成各该贯通孔洞；使复数探针穿设于该复数贯通孔洞；分离该第一导板与该第二导板；以一限定结构与该第一导板及该第二导板，形成一限定空间；填入一胶体于该限定空间，形成一非弹性胶体结构，包绕该复数探针；修整该复数探针露出于该非弹性胶体结构表面部分，使该复数探针头趋近于同一平面。