电化隔离元件及其制造方法;GALVANICALLY-ISOLATED DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

摘要

本发明提供一种电化隔离元件及其制造方法。上述电化隔离元件包括导线架，其包括第一晶片座、第一导脚和第二导脚；基板，设置于第一晶片座上；高压半导体电容，形成于基板上，其中高压半导体电容包括内连线结构，包括金属层间介电层结构；彼此隔开的第一电极板、第二电极板和第三电极板，位于金属层间介电层结构上，其中第一电极板、第二电极板和与第一电极板、第二电极板重叠的金属层间介电层结构的第一部分系构成第一电容，其中第一电极板、第三电极板和与第一电极板、第三电极板重叠的金属层间介电层结构的第二部分系构成第二电容。