基板托盘以及包含该基板托盘的基板处理设备;SUBSTRATE TRAY AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS COMPRISING THE SAME

摘要

一种基板托盘以及包含该基板托盘的基板处理设备，此种基板托盘有助于实现一大尺寸且防止透过下垂产生的缺陷，其中此基板托盘可包含：复数个带条，用于支撑在一第一轴方向上排列的复数个基板，以及一支撑框架，在与第一轴方向相垂直的一第二轴方向上与这些带条相连接，其中在关于第二轴方向上每一带条的一长度相比较于基板的一长度更大。