图案形成方法

摘要

[课题]提供一种以配线GDR形成微细图案时，能够获得高尺寸精度的图案形成方法。[解决手段]具有以下之工程：在基板上之薄膜形成微细之线及间隙的工程；藉由切割微细之线及间隙的线，形成用于形成配线之沟槽图案之反转图案之第1图案的工程；使前述第1图案反转并形成成为沟槽图案之第2图案的工程。