| 发明名称 |
薄膜电晶体及其制作方法与液晶显示面板;THIN FILM TRANSISTOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL USING THE SAME |
| 摘要 |
一种薄膜电晶体及其制作方法，以及包括该薄膜电晶体之液晶显示面板。薄膜电晶体包括金属材料的闸极及覆盖该闸极之闸极绝缘层。该闸极绝缘层为包含有矽元素、氧元素及氮元素的混合物，该混合物中的氧原子的浓度与氮原子的浓度比值小于3。 |
| 申请公布号 |
TW201427029 |
申请公布日期 |
2014.07.01 |
| 申请号 |
TW101150833 |
申请日期 |
2012.12.28 |
| 申请人 |
业鑫科技顾问股份有限公司 |
发明人 |
侯智元;高逸群 |
| 分类号 |
H01L29/786(2006.01);H01L21/336(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
YE XIN TECHNOLOGY CONSULTING CO., LTD. 新竹县竹北市台元一街1号7楼之1 TW |
