以光学平衡侦测为基础之二维表面轮廓量测干涉仪架构;AN INTERFEROMETRIC CONFIGURATION BASED ON OPTICAL BALANCED DETECTION CONCEPT IS PROPOSED TO MEASURE THE SURFACE PROFILE

摘要

一种二维表面轮廓量测干涉仪架构，利用光波电场偏振态的调整与控制，达到干涉光波讯号的相加与相减，利用第二半波长相位延迟片装置的光轴角度调整，将两光波电场的和与差，分别表现在垂直偏振与水平偏振电场，再将相减后的光讯号，藉由电荷耦合装置，转换为四组二维电子讯号。利用光学元件调整光波之偏极化状态，得到四组二维干涉能量的影像分布，再由简单的反三角函数，求出待测物表面对光波产生的相位差，进而求出待测物平面的轮廓函数，藉由该参数推导出待测物平面的统计特征。