一种密闭式晶圆传送盒

摘要

本新型在于提供一种密闭式晶圆传送盒，系由盒体、盖体、枢接结构及限位扣所构成，其中，盒体系具有一容置空间，且于盒体之一侧开设有一开口，其供复数个经由该开口置入于盒体；盖体系设于开口处，且相对应于开口，用以盖合于开口，使盒体呈一密闭盒体；枢接结构系设在盖体上，并枢接于盒体之开口一端处，使枢接结构枢接盒体与盖体处可相对应；限位扣设在盒体一端且位于开口处，用以与枢接结构相配合，使限位扣能与枢接结构组卸连接，透过盖体盖合于盒体上，避免细微的灰尘在搬运中飘入盒体内，提高盒体内晶圆的良率。

主权项

一种密闭式晶圆传送盒，其包括：一盒体，系具有一容置空间，且于该盒体之一侧开设有一开口，其供复数个晶圆框架经由该开口置入于该盒体内；一盖体，系设于该开口处，且相对应于该开口，用以盖合于该开口，俾使该盒体呈一密闭盒体；至少一枢接结构，系设在该盖体上，并枢接于该盒体之开口一端处，以使该枢接结构枢接该盒体与该盖体处可相对应；以及至少一限位扣，其设在该盒体一端且位于该开口处，用以与该枢接结构相配合，以使该限位扣能与该枢接结构组卸连接。