液浸构件、液浸曝光装置、液浸曝光方法、以及元件制造方法

摘要

液体回收系统，系用于液浸曝光装置。液体回收系统具备：具有第1面及与第1面相反之侧之第2面的板体；以及至少一部分隔着第1间隙与第2面相对向的液体回收部。液体回收系统，系透过液体回收部回收与板体第1面对向之可动物体上的液体。

主权项

一种液浸构件，系用于将液浸空间形成于可动物体上的液浸曝光装置，其具备：板体部，具有该可动物体所对向之第1面及与该第1面相反侧之第2面；以及液体回收部，至少一部分系隔着第1间隙与该第2面相对向；该液体回收部，能回收透过第1开口部而流入该第1间隙之液体；该第1间隙，系透过与该第1开口部不同之配置成该可动物体不对向之该第2开口部开放至大气。