| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum trennenden Bearbeiten von kristallinen Materialien (W) wie Siliziummaterialien, insbesondere zum spanenden Bearbeiten von Siliziummaterialien und dergleichen, mit mindestens einem als umfänglich diamantbeschichteten, endlosen Sägedraht ausgebildeten Trennwerkzeug (2), umfassend die Schritte: endlos umlaufendes Bewegen des Trennwerkzeugs (2) in einer Endlosschleife und Trennbewegen des umlaufenden Trennwerkzeugs (2) relativ zu dem Material (W) zum trennenden Bearbeiten des Materials (W), wobei das endlos umlaufende Bewegen mit einer Umlaufgeschwindigkeit in einem Bereich von grösser gleich 500 Meter pro Minute bis kleiner gleich 7500 Meter pro Minute, bevorzugt in einem Bereich von grösser gleich 750 Meter pro Minute bis kleiner gleich 6000 Meter pro Minute und weiter bevorzugt in einem Bereich von grösser gleich 1000 Meter pro Minute bis kleiner gleich 5000 Meter pro Minute durchgeführt wird. |
