磁传感装置及其磁感应方法

摘要

本发明揭示了一种磁传感装置及其磁感应方法，所述装置包括第三方向磁传感部件，该第三方向磁传感部件包括基底、至少一对相配合的磁传感模块，基底表面开有沟槽。磁传感模块包括导磁单元、感应单元；导磁单元用以收集第三方向的磁信号，并将该磁信号输出；感应单元设置于基底表面上，用以接收所述导磁单元输出的第三方向的磁信号，并根据该磁信号测量出第三方向对应的磁场强度。每对相配合的两个磁传感模块设置完成后，能够直接抵消每对磁传感模块在第一方向、第二方向上的磁场信号输出。本发明提出的磁传感装置可将X轴、Y轴、Z轴的感应器件设置在同一个圆晶或芯片上，且能够独立测量出X轴方向、Y轴方向和Z轴方向上的磁场信号。

主权项

一种磁传感装置，其特征在于，所述装置包括垂直方向磁传感部件，该垂直方向磁传感部件包括基底、至少一对相配合的磁传感模块，基底表面开有沟槽；所述磁传感模块包括：‑导磁单元，其主体部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽至基底表面，用以收集垂直方向的磁信号，并将该磁信号输出；‑感应单元，所述感应单元是感应与基底表面平行方向的磁传感器，设置于所述基底表面上，用以接收所述导磁单元输出的垂直方向的磁信号，并根据该磁信号测量出垂直方向对应的磁场强度；所述感应单元包括磁材料层，该磁材料层的磁材料的电阻随磁场强度及方向的变化而变化；所述磁传感装置还包括第一磁传感器、第二磁传感器，分别用以感应与基底表面平行的第一方向、第二方向的磁信号；第一方向、第二方向相互垂直；每对相配合的两个磁传感模块设置完成后，能够直接抵消每对磁传感模块在第一方向或/和第二方向上的磁场信号输出。