发明名称 | 测量装置以及测量方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种测量装置以及测量方法。测量装置包括一导电探针卡、一光学接收模块、一分光模块以及一数据处理模块。导电探针卡是放置于该晶片的至少一发光装置之上,以驱动该至少一发光装置,使该至少一发光装置发出一入射光并穿过该导电探针卡;光学接收模块,用以接收穿过该导电探针卡的该入射光;分光模块将入射光转换为光谱信号;以及数据处理模块依据光谱信号计算出一光学参数。 | ||
申请公布号 | CN103884424A | 申请公布日期 | 2014.06.25 |
申请号 | CN201210568682.7 | 申请日期 | 2012.12.25 |
申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 卓嘉弘;庄凯评;刘志祥;谢易辰;周森益;蔡伟雄 |
分类号 | G01J1/42(2006.01)I | 主分类号 | G01J1/42(2006.01)I |
代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国 |
主权项 | 一种测量装置,其特征在于,用以测量一晶片上的多个发光装置,包括:一导电探针卡,放置于该晶片的至少一发光装置之上,以驱动该至少一发光装置,使该至少一发光装置发出一入射光并穿过该导电探针卡;一光学接收模块,用以接收穿过该导电探针卡的该入射光;一分光模块,将该入射光转换为一光谱信号;以及一数据处理模块,依据该光谱信号计算出一光学参数。 | ||
地址 | 中国台湾新竹县竹东镇中兴路四段195号 |